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About the product
Characteristic
Guangdong
DektakXT
BRUKER
Medical health
No
Description
参数:
测试技术 |
探针式表面轮廓测量技术(接触模式) |
测量范围 |
二维表面轮廓测量 可选择三维测量以及数据分析 |
样品观测 |
可选择放大倍数,视场(FOV)范围:1~4mm |
探针传感器 |
低惯性量传感器 (LIS 3) |
探针作用力 |
LIS 3 传感器中 1~15mg |
低作用力模式 |
N-Lite+ 低作用力 0.03~15mg |
探针选项 |
探针曲率半径 50nm~25um 高径比针尖(HAR)10um×2um 和200um×20um ;也可以采用客户定制针尖 |
样品 X/Y 载物台 |
手动 X/Y(4英寸):100mm*100mm,可手动校平 自动 X/Y(6英寸):150mm*150mm,可手动校平 |
样品R/Ɵ 载物台 |
手动,360度连续旋转 自动,360度连续旋转 |
计算机系统 |
64位多核并行处理器,Windows® 7 系统;可选配23英寸平板显示器 |
软件 |
Version 64 操作分析软件,应力测量软件,悬臂偏转测试软件; 选配:缝合软件;3D应力分析软件;3D测量软件 |
隔振系统 |
多种隔振方案可供选择。 |
扫描长度范围 |
55mm 2英寸) |
单次扫描数据采集点 |
120,000 |
样品厚度 |
50mm (2英寸) |
晶片尺寸 |
200mm (8英寸) |
台阶高度重复性 |
<5Å, 1sigma on 0.1μm step |
垂直方向扫描范围 |
1mm (0.039英寸.) |
垂直方向分辨率 |
分辨率可达1Å (在6.55um测量范围内 |
输入功率 |
100 – 240 VAC, 50 – 60Hz |
温度范围 |
可以操作温度为20~ 25°C (68~77°F) |
湿度范围 |
≦80%,无凝结 |
系统尺寸和重量 |
455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34kg (75lbs.); 隔离罩:550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in.W x 17.5in. H); 5.0kg (11lbs.) |
Characters
Guangdong
DektakXT
BRUKER
Medical health
Description
参数:
测试技术 |
探针式表面轮廓测量技术(接触模式) |
测量范围 |
二维表面轮廓测量 可选择三维测量以及数据分析 |
样品观测 |
可选择放大倍数,视场(FOV)范围:1~4mm |
探针传感器 |
低惯性量传感器 (LIS 3) |
探针作用力 |
LIS 3 传感器中 1~15mg |
低作用力模式 |
N-Lite+ 低作用力 0.03~15mg |
探针选项 |
探针曲率半径 50nm~25um 高径比针尖(HAR)10um×2um 和200um×20um ;也可以采用客户定制针尖 |
样品 X/Y 载物台 |
手动 X/Y(4英寸):100mm*100mm,可手动校平 自动 X/Y(6英寸):150mm*150mm,可手动校平 |
样品R/Ɵ 载物台 |
手动,360度连续旋转 自动,360度连续旋转 |
计算机系统 |
64位多核并行处理器,Windows® 7 系统;可选配23英寸平板显示器 |
软件 |
Version 64 操作分析软件,应力测量软件,悬臂偏转测试软件; 选配:缝合软件;3D应力分析软件;3D测量软件 |
隔振系统 |
多种隔振方案可供选择。 |
扫描长度范围 |
55mm 2英寸) |
单次扫描数据采集点 |
120,000 |
样品厚度 |
50mm (2英寸) |
晶片尺寸 |
200mm (8英寸) |
台阶高度重复性 |
<5Å, 1sigma on 0.1μm step |
垂直方向扫描范围 |
1mm (0.039英寸.) |
垂直方向分辨率 |
分辨率可达1Å (在6.55um测量范围内 |
输入功率 |
100 – 240 VAC, 50 – 60Hz |
温度范围 |
可以操作温度为20~ 25°C (68~77°F) |
湿度范围 |
≦80%,无凝结 |
系统尺寸和重量 |
455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34kg (75lbs.); 隔离罩:550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in.W x 17.5in. H); 5.0kg (11lbs.) |