Подержанный стандартный плоский кристалл φ150 мм JJF1100-2016, плоский и другой толстый калибровальный инструмент с сертификатом

二等φ150mm标准平面平晶

JJF1100-2016平面等厚干涉仪校准规范

订货号：AUBAT-PH150

校准：干涉条纹间距测量的重复性；仪器示值误差；

本规范适用于平面等厚干涉的校准，采用等厚光波干涉原理，用于物体表面平面度测量(或检测)的光学仪器。按仪器结构分为不带标准平面平晶和带标准平面平晶的两种平面等厚干涉仪。

计量特性
1 干涉条纹间距测量的重复性
干涉条纹间距测量的重复性一般不超过±0.020mm。

2 测微目镜的示值误差次
在任意1mm内最大允许误差:±0.005mm，在全程8mm内最大允许误差:±0.010mm.

3 物镜系统引起的干涉条纹弯曲量
在视场直径方向两侧1mm 内干涉条纹弯曲量最大允许误差:±0.010mm，其余部分最大允许误差:±0.020 mm。

4 仪器的示值误差
仪器示值最大允许误差:±0.020μm。

校准方法：
1 干涉条纹间距测量的重复性
将两块标准平面平晶置于仪器工作台上，通过调整两块标准平面平晶工作面之间纸垫，在测微目镜视场中形成(3~5)条干涉条纹。用测微目镜内十字线的垂直线段与视场中某一干涉条纹中央对准，在鼓轮上读出数据a，再转动鼓轮移动垂直线段到相邻一条干涉条纹中央并对准，读出数据a2，用|a2-a1|得到干涉条纹的间距。在上述二条干涉条纹重复以上步骤9次，共得到10个干涉条纹间距测得值。若某一干涉条纹的间距测得值与其平均值之差超过2倍标准偏差。以标准偏差作为测得值。

2. 仪器的示值误差
a) 仪器示值误差用二块一等标准平面平晶按其两测量截面一 一对应分别进行测量。并减去标准平面平晶对应测量截面的实际值作为测量值，再重复上述步骤并以两次测量值的平均值为仪器示值误差的测得值。
b) 平面等厚干涉仪也可用三块二等标准平面平晶按互检法测量，得到三个测量值。分别去除相应标准器平面度的影响，再取其平均值作为测量值。

c) 用其他方法测量仪器的示值误差时，应参照附录B“仪器示值误差校准不确定度评定示例”的评定方法进行重新评定。