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Mahsulot haqida
Xususiyatlar
Китай
АУБАТ-261
АУБАТ-261
Нет
1 нм
металл
Да
АУБАТ-261
Настраиваемый
Tavsif
超光滑样板
表面粗糙度值 (Sa)1nm,测量噪声;
JJF(苏)261-2023光学显微干涉式三维表面形貌测量仪校准规范
测量噪声
将超光滑样板置于样品载物台,根据测量仪的操作规范,选择合适的测量模式以及光源,调节仪器直至视场内出现 0.5个周期的干涉条纹,即视场为全亮或全暗状态。再对样板同一有效测量位置连续做两次重复测量,两幅表面形貌图相减可得到差异平面轮廓,计算差异平面轮廓的均方根 Sq 表示为测量噪声。
一维栅格
二维栅格
栅格平均间距(5~10)um Urel≦0.5%,k=2;
栅格平均间距(5~20)um Urel≦1%,k=2;
垂直角度 MPE:±0.1°
XY 方向长度测量误差、重复性、正交误差;
Barcha xususiyatlar
Китай
АУБАТ-261
АУБАТ-261
Нет
Tavsif
超光滑样板
表面粗糙度值 (Sa)1nm,测量噪声;
JJF(苏)261-2023光学显微干涉式三维表面形貌测量仪校准规范
测量噪声
将超光滑样板置于样品载物台,根据测量仪的操作规范,选择合适的测量模式以及光源,调节仪器直至视场内出现 0.5个周期的干涉条纹,即视场为全亮或全暗状态。再对样板同一有效测量位置连续做两次重复测量,两幅表面形貌图相减可得到差异平面轮廓,计算差异平面轮廓的均方根 Sq 表示为测量噪声。
一维栅格
二维栅格
栅格平均间距(5~10)um Urel≦0.5%,k=2;
栅格平均间距(5~20)um Urel≦1%,k=2;
垂直角度 MPE:±0.1°
XY 方向长度测量误差、重复性、正交误差;