GVC-1000 маленький ионного распыления покрытия инструмент распыления металла инструмент

中科

产品特点

• 全自动控制，无需调整针阀
• 卡扣结构，靶材更换便捷
• 特殊密封结构，玻璃不易损伤
• 滑杆设计，样品台高度轻松调整
• 内置操作向导，无需培训即可熟练操作

• 应用领域

  本仪器主要适用于扫描电镜镀覆导电膜，仪器操作简单方便，是样品制备所必备的仪器。适用的靶材：金、铂、金钯合金、银、铅、铜、铬、锑等

• • 外形尺寸

    424(L)×271(D)×255(H)mm

    工作方式

    磁控溅射

  • 溅射靶材

    金、铂、金钯合金、银、铅、铜、铬、锑等

    极限真空

    ＜1Pa

  • 真空室

    高硅硼玻璃φ128×100mm

    工作介质

    空气或氩气、

  、

  1. 全自动操作，简单易用，非常适用钨灯丝、台式扫描电镜等

  • 溅射电流自动调整——设定溅射电流后，系统自动调节真空度，从而达到设定的溅射电流，调整时间＜5s，波动范围＜&;5%；

  无需按“实验”键调整溅射电流、无需操作“进气阀”。

  • 溅射时间自动记忆——同类样品一次设定即可；
  • 参数改变自动调整——溅射过程中可以随时调整溅射电流和溅射时长，系统自动计算叠加，无需终止溅射过程；
  • 工作完成自动放气；
  • 样品台高度调节1秒完成；
  • 溅射过程可以利用曲线显示，清晰直观。

  1. 软硬件互锁，防误操作，安全可靠

  • 真空度高于100Pa，启动真空保护，无法溅射；
  • 溅射电流高于50mA，停止溅射过程；
  • 真空泵工作时，系统无法进行放气操作；

  1. 镀层均匀，导电性良好

  技术参数：

  输入电压	&;10%，50Hz
  工作电压
  大功率（主机与机械泵）	500W
  工作原理	直流溅射
  可选靶材	金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属
  真空泵	两级直联旋片式真空泵 1L/s
  真空腔	φ128×130mm
  样品杯	φ90×1 / φ25×4 / φ15×6
  整机尺寸（长×宽×高）	424×271×255（mm）
  重量（主机）	11 kg
  工作环境	温度 5～40℃，湿度<60%
  存储环境	温度-10~60℃，湿度<80%
  工作气体	Air / Ar
  保护功能	过流、真空双保护

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