Actus高精度电容位移传感器C202

 C202是以中国科学技术大学精密传感与致动实验室为研发主体于2022年推出的一款高精度电容位移传感器，具有极佳的温度稳定性、线性度和分辨率。电容传感器可以检测任何材质的导体，广泛应用于半导体加工，精密智造，航天军工，纳米运动台，材料试验机等对传感器分辨率有很高要求的场合。 

可选量程范围：0.05mm, 0.1mm, 0.2mm, 0.5mm, 1mm, 2mm, 5mm

线性度：<±0.05%FS

量程最大位置下RMS分辨率10Hz下：0.00015%FSO

量程最大位置下RMS分辨率1kHz下：0.001%FSO

量程最大位置下RMS分辨率8kHz下：0.003%FSO

供电及功耗：100...240VAC  3W+2W/通道

模拟输出：0…10V

数字输出：Etheernet / RS422

模拟输出带宽（-3dB）：最大8kHz

数字输出速率：1≤通道数≤4 7.5kSa/s, 4＜通道数≤8 3kSa/s

探头电缆长度：标准1.2米，其余长度可定制

控制器工作温度范围：10…60℃

探头工作温度范围：-30…100℃

控制器温度稳定性：<±20ppm/℃

探头温度稳定性：<30nm/℃（0.2mm量程下），大于0.2mm的指标见样册

控制器长时间温度稳定性：±0.002%FSO/month

圆柱状探头

平板状探头

量程和输出信号对应关系：比如0.5mm，0...0.5mm对应0...10V

选择量程要预留防撞区间：比如最大位移量0.04mm，那么选0.05mm量程的话只有0.01mm防撞区间显然不够，那么建议选择0.1mm量程

平板状探头固定方式：建议正面固定

线性精度：衡量传感器绝对误差水平的重要指标，出厂标定采用激光干涉仪定标

噪声（分辨率）：衡量传感器对最小变化量感应能力的重要指标，比如最小变化量为1nm，那么量程选0.2mm在超低带宽10Hz下能达到0.2mmx0.00015%FSO=0.3nm

电源灯

自带demo软件：输入量程

自带demo软件：位移变化